基础防护（工业级 / 高纯级）：穿戴防静电防化服、耐酸碱丁腈手套、护目镜、防尘口罩、防水鞋套；操作区设置通风橱、除湿系统（湿度≤30%）、避光装置、控温设备（≤20℃）、应急洗眼器和冲淋装置；
高级防护（电子级）：在无尘干燥手套箱（百级无尘、水氧含量＜1ppm）内操作，穿戴无尘防静电服、无尘手套、护目镜、防尘防毒面具；操作区为千级无尘实验室，配备氩气保护系统、原料回收装置，防止铥损耗和交叉污染；
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